Inventor
KO CHANGHEE
JP8 patents
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L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
3 patentsUS9633838B2Apr 25, 2017
Vapor deposition of silicon-containing films using penta-substituted disilanes
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude4 citations70
US9790591B2Oct 17, 2017
Titanium-containing film forming compositions for vapor deposition of titanium-containing films
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude0 citations50
US9790247B2Oct 17, 2017
Cobalt-containing compounds, their synthesis, and use in cobalt-containing film deposition
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude0 citations49